Bộ điều khiển lưu lượng GP200 BROOKS INSTRUMENTS

GP200 

Dòng GP200 là bộ điều khiển lưu lượng khối dựa trên áp suất hoàn toàn không nhạy cảm với áp suất (P-MFC) đầu tiên được thiết kế dành riêng cho các quy trình Ăn mòn và Lắng đọng tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn.

P-MFC dòng GP200 có kiến ​​trúc được cấp bằng sáng chế giúp khắc phục những hạn chế của P-MFC thông thường để cung cấp quá trình phân phối khí chính xác nhất ngay cả khi cung cấp khí xử lý có áp suất hơi thấp. Nó bao gồm một số khía cạnh thiết kế độc đáo, bao gồm cảm biến chênh lệch áp suất tích hợp kết hợp với kiến ​​trúc van hạ lưu cho phép phân phối khí xử lý chính xác nhất trong phạm vi điều kiện vận hành rộng nhất trong ngành.

Do Dòng GP200 hỗ trợ nhiều điều kiện xử lý như vậy nên nó có thể được sử dụng làm giải pháp thay thế và nâng cấp tùy ý cho nhiều loại P-MFC và MFC nhiệt truyền thống. Nó làm giảm sự phức tạp và chi phí sở hữu hệ thống phân phối khí vì nó loại bỏ nhu cầu về các bộ phận như bộ điều chỉnh áp suất và bộ chuyển đổi.

Đặc trưng
Đo chênh lệch áp suất thực
Vận hành áp suất đầu vào thấp hơn
Cấu trúc van hạ lưu
Phản ứng nhất thời phù hợp
Van điều khiển không rò rỉ
Công nghệ MultiFlo TM mang đến sự linh hoạt tuyệt vời—một thiết bị có thể được lập trình cho hàng nghìn cấu hình phạm vi lưu lượng và khí khác nhau mà không cần tháo MFC khỏi đường dẫn khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác
Màn hình cục bộ cho biết lưu lượng, nhiệt độ, áp suất và địa chỉ mạng
DeviceNet TM , EtherCAT®, RS-485 L-Protocol và giao diện analog

Thông số kỹ thuật : 

Product Type : Mass Flow Controller
Differentiator : Fully Pressure Insensitive P-MFC
Most Precise Process Gas Delivery Over the Widest Range of Operating Conditions

Performance
Flow Range (Full Scale Capacity) : 3 sccm - 50,000 sccm
Accuracy
Zero Leak Valve
<±1% S.P. (5-100% F.S.)
<±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)

Metal Seal Valve
<±1% S.P. (5-100% F.S.)
<±0.05% F. S. (2-5% F.S.)

Repeatability
< ±0.15% S.P.
Response Time
280 ± 20 ms Matched Transient Response, for any ascending or descending non-zero setpoint
Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Standard
Pressure Transient Insensitivity
<± 1% S.P. up to 40 psi/sec inlet pressure spike

Control Range
Zero Leak Valve
0.5 - 100% F.S.

Metal Seal Valve
2 - 100% F.S.
Number of Bins
Nine (9) standard bin ranges
Zero Stability
< ±0.15% F.S. per year

Flow Temperature Coefficient
Zero: 0.005% F.S. per °C
Span: 0.05% S.P. per °C

Mass Flow Controllers & Meters
SLA5850ST1AB1C2A1
Variable Area Flow Meters
 1250A-D6043-W-M-S-P-V
Variable Area Flow Meters
 2520A-4L38-B-V-BN
Variable Area Flowmeters
1355EE2BCFG5LM
Serial No : 0107090349527/103
SLA5851 Mass Flow Meter
 SLA5851SJ1AB1C2A1
Mass Flow Meters & Controllers
 SLAMF64S4DAA0Y2A2A5EBAB
Elastomer Sealed Thermal Mass Flow Controllers & Meters
SLAMF53S3GAB3G2A2
Brooks® GT1000
Industrial Glass Tube Variable Area Flowmeter
1020NM0B1AA3EFC00001